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半導(dǎo)體真空腔密封圈是一種專用於半導(dǎo)體製造設(shè)備的高潔淨(jìng)度矽橡膠密封材料,具有優(yōu)異的耐高低溫性、低壓縮長久變形率和超高真空密封性能,可在-60℃至250℃溫度範(fàn)圍內(nèi)長期穩(wěn)定工作,短期耐溫可達(dá)300℃,滿足半導(dǎo)體設(shè)備高溫工藝需求,壓縮長久變形率小於10%,適用於超高真空環(huán)境(≤1×10?12 Pa)。
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